报告题目：半导体芯片装备调度优化新方法--从控制角度出发

地点：工学二号馆学术报告厅

报告时间：2022年9月26日15：00-17：00

报告人：乔岩

报告人简介：

乔岩，澳门科技大学澳门系统工程研究所副教授。2009年获广东工业大学工业工程专业学士学位；2015年获广东工业大学机械工程专业博士学位。研究方向包括半导体制造系统调度优化与控制，Petri网理论，离散事件系统，智能算法。在相关领域发表学术论文100余篇，其中SCI索引的期刊论文60余篇 (在IEEE Transactions上发表40余篇regular papers)，拥有17项国际专利(8项美国专利)。Google Scholar统计论文引用次数1800余次，H指数23。近两年，作为技术总负责人带领一支由澳门科技大学的算法研究人员和埃克斯工业（广东）有限公司的软件工程师组成的技术团队，开展了多家半导体装备头部企业的应用研究，已成功进行了槽式清洗机，刻蚀、CVD和PVD设备，立式炉的建模、求解算法和仿真平台的开发。算法实现了秒级求解，极大提升了设备产能。多台内置其团队算法的设备已应用于一线晶圆厂。

报告内容：

晶圆装备制造领域属于被国外卡脖子的领域。组合设备的有效调度优化方法是晶圆装备制造的核心技术之一。组合设备运行过程需满足复杂的工艺约束，如严格的晶圆驻留时间约束和周期性加工腔清洁需求。复杂的工艺约束是的组合设备调度问题非常具有挑战性。本报告围绕半导体装备调度领域的科学难题，介绍团队提出的基于ROPN的调度新方法。该方法基于离散事件系统理论，从控制理论的角度出发研究可行解的存在性，提出了通过参数化机械手等待时间的方式有效求解组合设备调度优化问题。并且针对具有不同复杂约束的组合设备调度优化问题，获得了一系列优化方法和技术。该方法避免直接应用数学规划和智能算法所面临的求解效率低的问题。同时，将这种调度思想应用于解决其他制造系统中的调度难题。