一、教育背景
2010.9 ~2014.6工学博士澳门大学机电工程专业.
研究方向:柔性机构及纳米定位平台、智能微驱动及先进运动控制、微纳米操作机器人
导师:李杨民教授(机器人与微纳米操作领域国际知名专家,Thomson Reuters Highly Cited Researchers入选者,微操作领域论文引用次数全球排名第一)
2005.9 ~ 2008.6工学硕士江西理工大学控制理论与控制工程专业.
研究方向:机器视觉
导师:华南理工大学-许伦辉教授
2001.9 ~ 2005.6工学学士江西理工大学自动化专业.
二、工作经历
2020.10~目前科技特派员/高级专家顾问深圳大族激光科技-显示与半导体装备
2019.12~目前教授(破格)广东工业大学
2014.09~ 2019.12讲师、副教授 广东工业大学
2017.03~2018.03博士后香港理工大学超精密加工技术国家重点实验室(合作导师: Sandy To教授,超精密加工技术国际知名专家,实验室副主任)
2016.02~2016.08博士后美国哥伦比亚大学BioMEMS实验室(合作导师: Qiao Lin教授,微机电系统领域国际知名专家,美国加州理工学院博士/博士后)
2015.01~2015.12借调工作国家自然科学基金委员会
2010.09~2013.09教授助理澳门大学
2008.07~2010.08助理研究员北京理工大学(珠海)
三、业绩成果
专门从事柔性机构、纳米定位平台、视觉检测、超精密运动控制、高端半导体制造/微纳制造装备关键基础研究与应用研发。承担国家自然科学基金3项(主持面上、青年各1项)、科技部国家重点研发计划(主持课题)1项,另参与完成美国NIH、澳门FDCT、国家973、国家基金重点项目等课题20余项。2017~2019连续三年担任了全球机器人与自动化顶级会议IEEE IROS会议副编辑,多个知名会议分会场主席。长期担任IEEE Trans.等多个国际Top期刊审稿人,Nanotechnology and Precision Engineering期刊编委、《中国制造2025》重点领域技术路线图建议专家,已发表高水平SCI/EI学术论文71篇(SCI一区18篇),指导课题获3M-NANO 2017/2019最佳学生论文奖,引用次数907次,他引>600次,H指数11。申请发明专利45件(授权发明专利21件、软著3件),获第五届广东省专利奖金奖1项(排名5)、广东省技术发明奖一等奖(排名11)。
在拔尖型创新创业人才培养方面,提出了一种“1+5+X”新工科创新创业人才全程协同培养新模式,打造了具有“五位一体”特色的创新创业团队。指导课题荣获第十五届“挑战杯”全国大学生课外学术科技作品竞赛特等奖(2017)、第十二届“挑战杯”中国大学生创业计划赛(创青春)金奖(2020)、第四届中国“互联网+”大学生创新创业大赛银奖(2018)等多项国家级荣誉,指导学生荣获中国青少年科技创新奖(邓小平奖,2017)、中国自强之星、广东省大学生年度人物,入选第三届全国大学生创新创业实践联盟年会优秀指导教师(2020)。
四、主要奖项荣誉
²广东省技术发明奖一等奖,电子制造柔性产线变型设计与优化关键技术及应用(第11完成人),2020.
²第五届广东省专利奖金奖,基于应力刚化原理的刚度频率可调一维微动平台(第5完成人),2019.8.
²Editor Board Member,Nanotechnology and Precision Engineering (NPE),2020.1~2023.12.
²Session Chair,Special Session Organizer: Compliant mechanisms,The 12th International Conference on Intelligent Robotics and Applications(ICIRA 2019),August 8-11, 2019, Shenyang, China.
²最佳学生论文奖(导师,通讯作者),“Design and Modeling of a Novel Wheel-Type Piezoelectric Nanopositioning Motor with Centimeter-scale Stroke”,Aug. 6, 2019,IEEE 3M-NANO Society.
²副编辑, The IEEE/RSJ International Conference on Intelligent Robots and Systems(IROS), 2019/2018/2017. (IEEE机器人领域顶级会议)
²一等奖(5/5),第十一届校级教学成果奖,地方高校机械类专业的特色创新创业教育改革与实践,2019.5.
²四次连续荣获先进科技工作者,广东工业大学,2015-2020.
²最佳学生论文奖(指导老师,共同第一、通讯作者),“Sub-pixel vision-based inspection and control of a flexure micropositioner”,2017-08-10,IEEE 3M-NANO Society.
²《中国制造2025》重点领域技术路线图建议人,2017-2020.
²第三届全国大学生创新创业实践联盟年会指导教师优秀事迹获得者,2020.12.
五、学术审稿
Journal: IEEE Transactions on Robotics, IEEE Transactions on Industrial Electronics,IEEE Transactions on Industrial Informatics,IEEE/ASME Transactions on Mechatronics,IEEE Transactions on Automation Science and Engineering;Conferences: ICRA, IROS, AIM, CASE, NANO, 3M-NANO, CISRAM, ICIA, ICINCO, ICONIP,ICIRA.
六、主要研究课题
1. 可承载大型显示面板的纳米精度跨尺度高速运动平台(主持,执行中):国家重点研发计划(专项-网络协同制造和智能工厂)大型显示面板前端制造工艺纳米尺度物性在线测量与质量监控系统(2020YFB1712703),项目金额: 194万元。
2. 高密度晶圆级芯片直接倒装互连高效精准一致创成关键技术研究(主持,执行中):国家自然科学基金-面上项目(51975132),项目金额: 60万元,执行日期: 2020.01-2023.12。
3. 晶圆级芯片直接倒装互连微纳操纵关键基础研究(主持,执行中):广东省自然科学基金-面上项目(2019A15150118960,项目金额: 10万元,执行日期: 2019.10-2022.09。
4. 面向三自由度压电快刀伺服的柔性机械位移放大器设计与控制研究(主持,已结题):国家自然科学基金-青年科学基金(51605102),项目金额:23万元,执行日期: 2017.01-2019.12。
5. 全压电驱动大行程并联微纳米定位平台开发与控制研究(主持,已结题):广州市科技计划科学研究专项-一般项目(201510010058),项目金额:20万元,执行日期: 2015.01-2018.01。
6.高频变驱动下柔性压电微动平台在线迟滞建模与控制研究(主持,已结题):广东省自然科学基金-博士启动(2014A030310204),项目金额:10万元,执行日期: 2015.01-2018.01。
7.面向三维IC封装的宏微复合定位系统开发与控制关键技术研究(主持,已结题):广东省科技攻关项目-公益研究与能力建设专项资金面上项目(2015A010104009),项目金额:30万元,执行日期:2015.01-2017.12。
8. 高动态工况下封装装备振动能量快速衰减机制与精度生成(主要参与, 2/8):国家自然科学基金面上项目(51675106),项目金额:62万元,执行时间:2017.01-2020.12。
9.细间距芯片低温三维倒装互连关键技术研究与装备开发(主要参与,已结题):广东省科技攻关项目(公益研究与能力建设专项资金重点项目)(2015B010104008),项目金额:100万元,执行日期:2015.09-2018.09。
10.面向微/光电子器件制造装备高速执行机构精密运动实现的关键技术(参与):广东省自然科学基金(团队项目)(2015A030312008),项目金额:300万元,执行日期:2015.01-2020.08。
七、代表性学术论文
以第一作者或第一通讯作者,共发表高水平SCI/EI学术论文72篇(JCR一区18篇),含IEEE TIE、TMECH、TRO、TII、TASE等IEEE/ASME机械电子工程领域国际TOP学报16篇。总引用次数907次(单篇最高157次),他引>600次,H-index 12。
1. S. He,H. Tang*, et al., “A Novel Flexure Piezomotor with Minimized Backward and Nonlinear Motion Effect,”IEEE Transactions on Industrial and Electronics,DOI (identifier) 10.1109/TIE.2020.3048320, In press.(SCI/EI, IF: 7.503, 1/61,一区[Top])
2. H. Wei*, B. Shirinzadeh,H. Tang, X. Niu, “Closed-form compliance equations for elliptic-revolute notch type multiple-axis flexure hinges,”Mechanism and Machine Theory,vol.156, no. 104154, 2021.(SCI/EI, IF: 3.535, 17/129,一区[Top])
3.H. Tang*, S. He, et al., “A Monolithic Force Sensing Integrated Flexure Bonder Dedicated to Flip-Chip Active Soft-Landing Interconnection,”IEEE-ASME Transactions on Mechatronics, vol.26, no.1, pp. 323-334, Feb. 2021.(SCI/EI, IF: 5.673, 7/130,一区[Top])
4. S. He,H. Tang*, K. Zhang, et al., “A Flip-chip Alignment System with the Property of Deviation Self-correcting at the Nanoscale,”IEEE Transactions on Industrial Electronics,vol. 68, no. 3, pp. 2345-2355, Mar. 2021.(SCI/EI, IF: 7.515, 1/64,一区[Top])
5. Z.Wu,H. Tang*, Z. Feng, W. Wang, S. He, J. Gao, X. Chen*, Y. He, X. Chen, “A Novel Self-Feedback Intelligent Vision Measure for Fast and Accurate Alignment in Flip-Chip Packaging,”IEEE Transactions on Industrial Informatics,vol. 16, no. 3, pp. 1776-1787, March 2020.(SCI/EI, IF: 9.112, Cited times: 1, 4/109,一区[Top])
6. J. Li,H. Tang*, Z. Wu, H. Li, G. Zhang, X. Xiao, X. Chen, J. Gao, Y. He*, “A Stable Autoregressive Moving Average Hysteresis Model in Flexure Fast Tool Servo Control,”IEEE Transactions on Automation Science and Engineering,vol. 16, no. 3, pp. 1484-1493, July 2019. (SCI/EI, IF: 4.938, Cited times: 1, 13/63,一区[Top])
7.H. Tang, J. Gao, X. Chen*, K. Yu, S. To, Y. He, X. Chen, Z. Zeng, S. He, C. Chen, Y. Li*, “Development and Repetitive-compensated PID Control of a Nanopositioning Stage with Large-Stroke and Decoupling Property,”IEEE Transactions on Industrial Electronics, vol. 65, no. 5, pp. 3995-4005, May 2018. (SCI/EI, IF: 7.515, Cited times: 36,1/64,一区[Top])
8.H. Tangand Y. Li*, “Development and Active Disturbance Rejection Control of a Compliant Micro/Nano Positioning Piezo-Stage with Dual-Mode,”IEEE Transactions on Industrial Electronics, vol. 61, no. 3, pp. 1475-1492, March 2014. (SCI/EI, IF: 7.515, Cited times: 128, 1/64,一区[Top])
9. L. Zhang, J. Gao*, X. Chen*,H. Tang, Y. Chen, Y. He,“A Rapid Vibration Reduction Method for Macro–Micro Composite Precision Positioning Stage”,IEEE Transactions on Industrial Electronics, vol. 64, no. 1, pp. 401-411, Jan. 2017. (SCI/EI, IF: 7.515, Cited times: 7, 1/64,一区[Top])
10.H. Tangand Y. Li*, “A New Flexure-based YθNanomanipulator with Nanometer-Scale Resolution and Millimeter-Scale Workspace,”IEEE-ASME Transactions on Mechatronics,vol. 20, no. 3, pp. 1320-1330, June 2015. (SCI/EI, IF: 5.673, Cited times: 45, 7/130,一区[Top])
11.H. Tangand Y. Li*, “Design, Analysis and Test of a Novel 2-DOF Nanopositioning System Driven by Dual-Mode,”IEEE Transactions on Robotics, vol. 29, no. 3, pp. 650-662, June 2013. (SCI/EI, IF: 6.123, Cited times: 100, 2/28,一区[Top])
12. Y. Li*, J. Huang, andH. Tang, “A Compliant Parallel XY Micro-motion Stage with Complete Kinematic Decoupling,”IEEE Transactions on Automation Science and Engineering, vol. 9, no. 3, pp. 538-553, July 2012. (SCI/EI, IF: 4.938, Cited times: 146, 13/63,一区[Top])
13.H. Tangand Y. Li*, “Feedforward Nonlinear PID Control of a Novel Micromanipulator Using Preisach Hysteresis Compensator,”Robotics and Computer-Integrated Manufacturing, vol.34, pp.124-132, Aug. 2015. (SCI/EI, IF: 5.057, Cited times: 53, 8/50,一区[Top])
14.H. Tang*, H. Li, K. Yu, S. To, Y. He*, J. Gao, X. Chen, J. Li, “Design and Control of a New 3-PUU Fast Tool Servo for Complex Microstructure Machining,”International Journal of Advanced Manufacturing Technology, vol.94, pp. 3503-3517, Feb. 2018. (SCI/EI, IF: 2.633, Cited times: 6,25/50,二区)
15. Z. Wu,H. Tang*, S. He, J. Gao, X. Chen, S. To, Y. Li, Z. Yang, “Fast Dynamic Hysteresis Modeling Using a Regularized On-Line Sequential Extreme Learning Machine with Forgetting Property,”International Journal of Advanced Manufacturing Technology, vol.94, pp. 3473-3484, Feb. 2018. (SCI/EI, IF: 2.633, Cited times: 4,25/50,二区)
八、授权专利
1. “一种纳微定位平台,”ZL201610716014.2
2. “一种单自由度柔性微定位平台”,ZL201610715174.5
3. “一种柔性大行程微纳加工设备”,ZL201610716013.8
4. “数控机床及其全方位智能减振刀具”,ZL201610718757.3
5.“一种柔性铰链导向的平面XYθ三自由度精度补偿器”,ZL201710028066.5
6. “一种三自由度并联平动快速刀具伺服器”,ZL201710019528.7
7.“一种XYZ三自由度精密定位装置”,ZL201710019564.3
8. “一种全柔性微位移放大机构”,ZL201710019537.6
9. “一种数控超精密加工机床并联平动三维快速刀具伺服装置”,ZL201710137698.5
10. “一种带有挡块的静电纺丝液珠清除装置及清除方法”,ZL201710399559.X
11. “一种基于压电陶瓷的柔性纳米定位方法、装置及系统”,ZL201710750610.7
12. “一种力反馈闭环控制复合键合装置”,ZL201910339192.1
13. “一种双模混合控制芯片倒装方法”,ZL201910339759.5
14. 软件著作权专利:“带角位移补偿的新型XYθ芯片倒装定位平台数控系统V1.0”,2017SR195192
15. 软件著作权专利:“基于模板匹配和阈值分割的晶圆芯片视觉检测系统V1.0”,2017SR196791
16. 软件著作权专利:“基于亚像素视觉检测的倒装芯片定位系统1.0”,2017SR448387
联络方式:
QQ (微信): 723214759 Email:Huitang@gdut.edu.cn
地址:广州市番禺区大学城广东工业大学工学二号馆720房
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