省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室(以下简称实验室)依托广东工业大学建设,以机械工程学科为主体,并与材料、光学、控制、信息电子、仪器仪表等学科交叉,致力于精密电子制造技术与装备领域的应用基础研究。 实验室瞄准后摩尔时代新一代芯片器件高密度化、微型化、轻薄化的变革趋势与国际前沿,围绕“电子制造高端装备高速精密运动生成与测量”、“元器件微纳米级功能微结构阵列的高精高效创成”两大关键科学问题,开展基础理论研究,引领行业技术进步,促进学科快速发展;对接产业需求,开展高端电子制造装备的核心技术攻关与关键零部件研制,深化产学合作与企业服务,支撑产业高速发展。力争打造一个基础理论研究与核心技术攻关能力兼具、区域特色与产业特色兼备的高水平国家重点实验室,成为我国精密电子制造技...